реактор для химического осаждения металлоорганического соединения из паровой фазы

metaloorganinio junginio cheminio garinio nusodinimo reaktorius statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. metallo-organic chemical vapor deposition reactor vok. metallorganischer chemischer Gasphasenabscheidungsreaktor, m rus. реактор для химического осаждения металлоорганического соединения из паровой фазы, m pranc. réacteur pour dépôt chimique en phase vapeur métallo-organique, m